随着摩尔定律(Moores Law)持续进展至未来的半导体技术节点——11nm和7nm，业界需要更先进的测量工具——一种更精密的比例尺——，至少必须比目前测量的半导体更精密10倍以上，才能取得成功，从而推动摩尔定律持续进展。
目前最精密的测量工具可达到4nm精密度，是由美国加州的aBeam Technologies Inc.联手劳伦斯柏克莱国家实验室(Lawrence Berkeley National Lab；LBNL)共同开发的，他们结合采用了电子束微影、原子层沈积以及奈米压印技术。针对新标准持续扩展摩尔定律至7nm，美国能源部阿岗国家实验室(Argonne National Laboratory；ANL)最近携手aBeam与LBNL，共同开发了至今最精密的测量工具——线nm随机测试图案(左)以及扫描电子显微镜(SEM)影像(右)
“在这项设计中所使用的技术来自于半导体产业；不过，目前还不到讨论细节的时机。然而，这并不是一个典型的 CMOS 制造流程。由于我们应该材料的对比度来表征与调整奈米级测量设备，因此我们采用了矽晶与矽化钨。不过，该技术本身并不受到材料选择的限制，各种广泛的材料都可使用，”aBeam Technologies总裁Sergey Babin表示。
1.5nm随机测试图案的透射电子显微镜(TEM)影像图(左)以及双特写(右)
“对于半导体产业来说，测量工具至关重要，因为它为制作的完整过程提供反馈，”Babin指出，“调变转换函数被大范围的应用于光学中，也使光学系统突破绕射极限。在奈米测量学领域中，常见的问题是一直缺少具有已知空间频率的自然样本，而我们的技术则弥补了这一鸿沟。利用制造出具有奈米级线宽的虚拟随机测试图案，奈米级测量系统能够更准确的进行特性表征。”
电路功能与优势 本电路在精密热电偶温度监控应用中使用 ADuCM360精密模拟微控制器，并相应地控制4 mA至20 mA的输出电流。 ADuCM360 集成双通道24位∑-△型模数转换器（ADC）、双通道可编程电流源、12位数模转换器（DAC）、1.2 V内置基准电压源以及ARM Cortex-M3内核、126 KB闪存、8 KB SRAM和各种数字外设，例如UART、定时器、SPI和I2C接口。 在该电路中， ADuCM360连接到一个T型热电偶和一个100铂电阻温度检测器（RTD）。RTD用于冷结补偿。低功耗Cortex-M3内核将ADC读数转换为实际温度值。支持的T型温度范围是−200°C至+350°C，而此
本文以比较器为基本电路，采用恒流源充放电技术，设计了一种基于1.0μm CMOS工艺的锯齿波振荡电路，并对其各单元组成电路的设计进行了阐述。同时利用Cadence Hspice仿真工具对电路进行了仿真模拟，根据结果得出，锯齿波信号的线性度较好，同时电源电压在5.0 V左右时，信号振荡频率变化很小;在适当的电源电压和温度变化范围内，振荡电路的性能较好，可大范围的应用在PWM等各种电子电路中。 1 电压比较器 在以往的比较器电路中，存在单级增益不高，并以牺牲输出电压范围来提高增益，进而不能够达到满幅度输出，导致电路性能差。本文所设计的比较器电路如图1所示，采用三级放大，第一级是差分输入级将双端变单端输出，两只NMOS管作为电流源负
工艺的锯齿波振荡电路的设计 /
据国外新闻媒体报道，联发科近期将进驻芯片设计企业NuCore，未来中低端数码相机多媒体芯片市场，势必也会成为联发科积极发展的目标，直接受到冲击的将是美商德州仪器（TI），因此，德州仪器近期与美光（Micron）展开合作，开发CMOS感测器与多媒体芯片平台，与联发科在数码相机芯片市场展开竞争。 联发科并购NuCore取得数码相机芯片部门，除了产品、技术外，佳能（Canon）、东芝（Toshiba）、柯尼卡（Konica）、奥林巴司（Olympus），也都成为联发科数码相机芯片客户。NuCore的大本营主要在中高端数码相机多媒体芯片，主要竞争对象是美商的卓然（Zoran），除了卓然外，德州仪器在数码相机芯片市场也有部分市场。不过，数码
随着集成电路技术的广泛应用及集成度的持续不断的增加，超大规模集成电路(VLSI)的功耗、芯片内部的温度逐步的提升，温度保护电路慢慢的变成了了众多芯片设计中必不可少的一部分。本文在CSMC 0．5／μm CMOS工艺下，设计一种适用于音频功放的高精度带热滞回功能温度保护电路。 1 电路结构设计 整个电路结构可分为启动电路、PTAT电流产生电路、温度比较及其输出电路。下面详细的介绍各部分电路的设计以及实现。文中所设计的温度保护整体电路图如图1所示。 1．1 启动电路 在与电源无关的偏置电路中有一个很重要的问题，那就是“简并”偏置点的存在，每条支路的电流可能为零，即电路不能进入正常工作状态，故必须添加启动电路，以便电源上电
温度保护电路 /
中国证券网讯（记者 李兴彩）备受瞩目的SEMICON China2018近日在上海举行，作为全球化的产业协会和最具影响力的电子展会，SEMICON China已成为中国及全球半导体产业链上下游交流合作的首选平台。在本届展会上，SEMI高管接受媒体采访时表示，SEMI接下来将致力于让国际同行更好地了解中国半导体，从而促进中国半导体产业高质量发展及融入全球生态圈。 SEMI全球副总裁居龙首先介绍了本次展会情况，SEMICON China2018的展商超过1100家，展览面积达到7.4万平方米，专业观众超过7万人。“今年是SEMICON进入中国的第30个年头，30年来，SEMI见证了中国半导体产业的发展，也服务了近400个中国会员企业；作
引言 静电探针又称langrnuir探针，是一种用来进行等离子体参数测量的基本的诊断工具，通过静电探针的，I-V特性曲线可以计算出等离子体的电子温度、密度、空间电位和悬浮电位等重要参数。静电探针，I-V特性曲线所示。目前，随着等离子体在对金属、微电子、聚合物改性，聚合、生物功能材料相容性处理，低温杀毒以及空间技术等诸多领域的广泛应用。开展静电探针自动测量技术的研究开发工作，对提高等离子体应用研究工作的效率具有一定的推动作用。本文介绍的自动测量系统是以单片机为核心，采用A/D和D/A技术，能快速、准确地给出静电探针I-V特性曲线 系统概述 本自动测量系统以AT89S52单片机为核心，通过D/A转
在现代控制管理系统中，角度测量装置是最重要的需要高精度的部件，其测量精度直接影响着总系统的性能和精度。例如施工 升降机上有角度测控机构来控制起降;火箭炮瞄准系统中都有大量的角度传感器，实时检测炮塔偏转角度，以便对火箭炮瞄准做调整。目前已有的利用的加速度传 感器实现高精度角度测量的研究，主要侧重于单轴的角度测量。本文将重点讨论利用双轴加速传感器ADXL202实现高精度角度测量的软硬件方法。 1 角度测量仪系统硬件方案设计 本角度测量仪采用STM32F107作为数据处理的核心芯片。这是一款低功耗、高速度的32位处理器，拥有Cortex-M3内核。角度测量模块使用的是高精度、低功耗的双轴加速度传感器ADXL202，能将加速度信号转换成
设计 /
纳型卫星是指质量在1～10kg 之间的卫星。与微型卫星相比, 纳型卫星对遥感系统在质量、体积、功耗等方面的要求更加苛刻。目前大范围的使用在微型卫星遥感系统的电荷耦合器件CCD很难满足纳型卫星的使用上的要求。CMOS图像传感器采用标准的CMOS 技术, 继承了CMOS 技术的优点, 如静态功耗低、动态功耗与工作频率成比例、噪声容限大、抗干扰能力强、特别适合于噪声环境恶劣条件下工作、工作速度较快、只需要单一工作电源等。虽然 CMOS 器件的研究还未完全成熟, 如电离环境下暗电流稍大等问题还没有很好地解决,还不能完全取代CCD, 但毋庸置疑CMOS 器件将是未来遥感传感器的发展趋势。本文设计了一套纳型卫星CMOS 遥感系统, 并对其进行了热循
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